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Product Center當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD大功率桌面濺射儀
大功率桌面濺射儀,采用小電流高電壓,最大功率1000w,配有水冷機接口,可長(cháng)時(shí)間運行
品牌 | 鄭科探 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
大功率桌面濺射儀,采用小電流高電壓,最大功率1000w,配有水冷機接口,可長(cháng)時(shí)間運行。該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時(shí)間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動(dòng)控制,設計符合人體工程學(xué),所得結果一致,可重復性高。
主要特點(diǎn):
輕便、濺射面積大
靶材可按用戶(hù)要求加工制作
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大功率桌面濺射儀技術(shù)參數;
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |