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Product Center當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD大功率濺射儀
大功率濺射儀,桌面式設計,觸摸屏控制,石英+不銹鋼腔體,濺射距離可調,自動(dòng)電動(dòng)擋板可保護樣品和清洗靶材。
品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
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樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 等 | 價(jià)格區間 | 面議 |
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
大功率濺射儀,桌面式設計,觸摸屏控制,石英+不銹鋼腔體,濺射距離可調,自動(dòng)電動(dòng)擋板可保護樣品和清洗靶材。
離子鍍膜技術(shù)是PVD技術(shù)的一種,是指在PVD沉積過(guò)程中,被鍍材料形成金屬或者非金屬等離子體(如Ti離子,N離子),等離子體在偏壓電場(chǎng)的作用下,沉積在工件表面上。由于離子鍍過(guò)程中,離子的能量更強,離子繞射性更好,膜層的結合力更好,膜層致密性也更好,膜層性能更好。
離子鍍膜技術(shù)的應用非常廣泛,常見(jiàn)的有:裝飾性鍍膜,工具模具硬質(zhì)鍍膜以及各種功能膜層。
大功率濺射儀技術(shù)參數;
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |