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產(chǎn)品中心材料樣品檢測探針臺KT-Z400MR4T微型高溫探針臺
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微型高溫探針臺KT-Z400MR4T，0-400℃溫控，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測量。
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產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 |
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微型高溫探針臺KT-Z400MR4T
系列微型真空探針臺是一款專(zhuān)門(mén)用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測 量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進(jìn)行電學(xué)測量評估，是實(shí)驗室測量薄膜材料電學(xué)性能工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領(lǐng)域。
主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來(lái)區分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)從功能上來(lái)區分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成
為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專(zhuān)門(mén)為用戶(hù)設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統的穩定，減少探針的漂移。
微型高溫探針臺KT-Z400MR4T參數
真空腔體 | ||
類(lèi)型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 最大值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類(lèi)型 | 標準PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類(lèi)型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線(xiàn)性電源加熱 | 直流線(xiàn)性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) 可擴展真空讀數接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線(xiàn)轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線(xiàn)長(cháng)1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數量 | 4探針（可擴展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺 | ||
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調節探針桿） | |
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