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小型蒸鍍儀 鄭州科探KT-Z1650CVD 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機是鄭州科探儀器設備有限公司生產(chǎn),臺式設計、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比,非常適合實(shí)驗室科研使用。 通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。
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相關(guān)文章品牌 | 鄭科探 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
小型蒸鍍儀 鄭州科探KT-Z1650CVD是我公司專(zhuān)為科研院所及實(shí)驗室用戶(hù)群體設計開(kāi)發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統。采用大抽速分子泵準無(wú)油高真空系統,機架電控一體化設計,整體布局緊湊合理,充分考慮人機工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀(guān)觀(guān)察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結構相得益彰。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)。廣泛應用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等,特別適合太陽(yáng)能電池、有機EL、LED顯示管研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域。
主要特點(diǎn)/優(yōu)勢:
★ 玻璃鐘罩真空腔室,最直觀(guān)的蒸發(fā)狀態(tài)和薄膜沉積現象觀(guān)察;
★ 復合分子泵和直聯(lián)旋片泵,大抽速準無(wú)油真空系統(分子泵抽速≥400L/S);
★ 兩組水冷式蒸發(fā)電極,可長(cháng)時(shí)間穩定工作,兼容金屬材料與有機材料的蒸發(fā)源設計;
★ 專(zhuān)業(yè)真空蒸發(fā)電源,數顯工作電流和電壓,恒流輸出;
★ 可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;
★ 襯底可選擇加熱或水冷,源基距≥300mm;
★ 可調速旋轉靶臺使薄膜更均勻
★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機物材料,可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;
★ 7寸顯示器定時(shí)定點(diǎn)調節電流,達到控制功率效果
★ 具有記憶儲存功能,直接調出已儲存的數據進(jìn)行鍍膜達到同樣工藝效果
★ 配置了靶臺擋板,可手動(dòng)調節或自動(dòng)調節擋板,及時(shí)遮擋樣品,保證樣品效果
小型蒸鍍儀 鄭州科探KT-Z1650CVD技術(shù)資料
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
加熱方式 | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調節距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類(lèi)型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |
技術(shù)支持&服務(wù):
1. 技術(shù)支持:在合同簽訂之前,我們的專(zhuān)業(yè)工程師會(huì )在充分了解客戶(hù)需求的前提下,為客戶(hù)做出*的選型和方案設計,使客戶(hù)充分了解并理解產(chǎn)品技術(shù)指標、性能用途、使用場(chǎng)合、安全注意事項等,以幫助客戶(hù)做出正確的選擇。
2. 安裝與培訓:在產(chǎn)品使用前,我們會(huì )派專(zhuān)業(yè)工程師為您提供現場(chǎng)技術(shù)支持、培訓及演示服務(wù)。
3. 產(chǎn)品質(zhì)保:我們對產(chǎn)品提供12個(gè)月的質(zhì)保期,在質(zhì)保期內發(fā)生設備或配件損壞由公司負責賠償或免費維修。(耗材和易損件除外)
4. 終身維護:我們對提供的產(chǎn)品提供終身服務(wù),對于超過(guò)質(zhì)保期限的維修、維護僅收取材料費,免除一切人工費用。