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Product Center當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD小型蒸鍍儀鄭科探
小型蒸鍍儀鄭科探KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜
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相關(guān)文章品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
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樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | 50mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 | 價(jià)格區間 | 1-5萬(wàn) |
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
小型蒸鍍儀鄭科探KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜
小型濺射儀
小型蒸鍍儀鄭科探技術(shù)資料
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
加熱方式 | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調節距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類(lèi)型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |