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產(chǎn)品中心

Product Center

等離子體技術(shù)應用

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該等離子體技術(shù)應用內置高純石英倉體,采用了新型的電極結構設計和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩定。真空倉門(mén)有觀(guān)察窗,可直觀(guān)物體的處理過(guò)程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機箱內,即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗 樣品清洗 和教學(xué)。

產(chǎn)品型號:KT-S2DQX
更新時(shí)間:2024-03-29
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:934
品牌鄭科探產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域電子

等離子體技術(shù)應用作為一種微觀(guān)固體表面的處理設設備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現清潔等目的。

等離子體技術(shù)應用主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗等。

內置高純石英倉體,采用了新型的電極結構設計和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩定。真空倉門(mén)有觀(guān)察窗,可直觀(guān)物體的處理過(guò)程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機箱內,即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗 樣品清洗 和教學(xué)。

 



設備型號

KT-Z2DQX

KT-S2DQX

KT-Z5DQX

控制方式

7寸觸摸屏人機界面

7寸觸摸屏人機界面

7寸觸摸屏人機界面

供電電源

AC220VAC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

1000W

150W

300W

匹配方式

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

清洗頻率

40KHz

13.56MHz

耦合方式

電容耦合

工作真空

≤50Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

2L(內徑110MMX深度220MM)

2L(內徑110MMX深度220MM)

5L(內徑160MMX深度310MM)

觀(guān)察窗內徑

Φ50

Φ50

Φ70

氣體流量

0-300ml/min(熱式質(zhì)量流量傳感器X2個(gè))

真空計量程

1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計)

過(guò)程控制

手動(dòng)/自動(dòng)切換

手動(dòng)/自動(dòng)切換

手動(dòng)/自動(dòng)切換

清洗時(shí)間

自動(dòng)開(kāi)關(guān)

開(kāi)蓋方式

鉸鏈側開(kāi)式法蘭

外形尺寸

150*500*250mm

450*460*370mm

530*580*420mm

重量

20kg

35kg

40kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強制風(fēng)冷

標配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線(xiàn)一根,說(shuō)明書(shū)一本。


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