產(chǎn)品中心
Product Center當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔
流量計數量:5個(gè),(根據客戶(hù)需求標定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口) 氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔流量規格:500 ml/min精準度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.)重復精度:±0.2% F.S響應時(shí)間:≤1 s密封形式:金屬密封接頭尺寸:6 mm漏率:<1×10-8 Pa·m3/s通訊接口:RS485
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產(chǎn)品分類(lèi)品牌 | 鄭科探 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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自動(dòng)化度 | 半自動(dòng) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
應用領(lǐng)域 | 電子 |
1、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔
測試夾具要求:可實(shí)現XYZ移動(dòng);
測試腔:同時(shí)滿(mǎn)足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測試,304不銹鋼材質(zhì),可在紫外燈下保證氣密性測試;
測試樣品數:同時(shí)測試8個(gè)樣品,可進(jìn)行頻率-阻抗測試、插指電極和場(chǎng)效應管測試;
測量溫度:室溫---300 ℃
控溫精度:±1 ℃
顯示精度:±0.1 ℃
測溫傳感器:PT100
升溫斜率:1-10 ℃/min
通訊類(lèi)型:RS485
加熱功率:500 W
測試腔容積<2 L
2、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔
流量計數量:5個(gè),(根據客戶(hù)需求標定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口)
流量規格:500 ml/min
精準度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.)
重復精度:±0.2% F.S
響應時(shí)間:≤1 s
密封形式:金屬密封
探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
該探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-13mm;z方向調節范圍:0-13mm;用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀(guān)察,使探針對準檢測點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測。
接頭尺寸:6 mm
漏率:<1×10-8 Pa·m3/s
通訊接口:RS485
4、樣品12*10mm,探針可移動(dòng)范圍x-y 1-10mm,z軸
5、每個(gè)樣品上方一個(gè)紫外燈,四個(gè)燈連成燈串外置一個(gè)可控開(kāi)關(guān)。紫外燈可更換,樣品上方2cm。
6、加熱板上有個(gè)鍍金襯底,用來(lái)連接柵極。